在臭氧杀菌中，材料可以直接用臭氧气体处理，并溶解在水中形成臭氧水进行杀菌。臭氧水杀菌有两种化学反应:微生物细菌直接与水中的臭氧反应，间接与羟基反应。因为羟基是一种氧化性氧化剂，臭氧水可以很快杀死细菌。由于臭氧具有极强的氧化力，空气中存有微量臭氧就能刺激人体中枢神经，促进血液循环，可以让人产生爽快和振奋的感觉。当臭氧浓度达到0.01ppm后，即对人体有轻微影响。当臭氧浓度超过0.1ppm时，对人体健康有害。因此，臭氧引发设备使用阶段中，必须注重使用的安全。特别是车间空气灭菌，根据车间是否人员和处理的目的，调整不同浓度。美国、日本标准规定容许浓度值基准要求值为0.1ppm,东欧各国为0.5ppm.我国虽然有关标准法规尚在建立之中，但也应该注重对臭氧浓度的使用控制，以免对人体造成伤害。
